简介:
用球差校正装置扮演凹透镜修正球差的透射电镜即为球差透射电镜(Special Aberration Corrected Transmission Electron Microscope, AC-TEM)。由于TEM分为普通的TEM和用于精细结构成像的STEM,故球差电镜也可分为AC-TEM(球差校正器安装在物镜位置) 和AC-STEM(球差校正装置安装在聚光镜位置)。AC-TEM和AC-STEM的分辨率则能够达到埃级和亚埃级别!
用途及功能:
形貌观察:对各种材料内部微结构进行二维显微形貌观察,包括常见的粉末、纳米颗粒形貌和粒径观察;配合三维重构可以得到三维立体形貌;
结构分析:利用选区电子衍射、高分辨透射图像、高分辨扫描透射图像等分析材料的结构
成分分析:配合能谱仪可以对样品元素做点、线、面、体分布分析,可以得到原子分辨率的元素面分布图像
测试项目:形貌+高分辨、SAED、点扫、线扫、面扫。
AC-STEM测试项目:
HAADF原子相、EELS、EDS、Mapping、空位缺陷
AC-TEM测试项目:
形貌高分辨、衍射、能谱